半导体器件的形成方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210406255.9
申请日
2012-10-22
公开(公告)号
CN103779221A
公开(公告)日
2014-05-07
发明(设计)人
赵猛
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L2978
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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半导体器件的形成方法 [P]. 
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