一种等离子刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110036756.1

申请日：

2021-01-12

公开(公告)号：

CN112863992B

公开(公告)日：

2021-05-28

发明(设计)人：

罗凯王子荣康凯

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20210112
2023-01-17	授权	授权
2021-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种等离子刻蚀方法及等离子刻蚀装置 [P].

李宛泽 ;

刘轩 ;

刘祖宏 .

中国专利 :CN106504971B ,2017-03-15

[2]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402A ,2021-12-28

[3]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402B ,2024-11-15

[4]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797B ,2024-12-31

[5]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797A ,2024-11-26

[6]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN109461641B ,2024-03-19

[7]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN209045484U ,2019-06-28

[8]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN109461641A ,2019-03-12

[9]

等离子刻蚀装置 [P].

赵亮亮 ;

姚森 ;

谢飞 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

张文杰 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099573U ,2021-08-31

[10]

等离子刻蚀装置 [P].

谢飞 ;

姚森 ;

赵亮亮 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099574U ,2021-08-31

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