一种等离子刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811446079.5

申请日：

2018-11-29

公开(公告)号：

CN109461641A

公开(公告)日：

2019-03-12

发明(设计)人：

崔岸郝裕兴张睿陈宠刘芳芳刘天赐黄显晴杨伟丽徐晓倩

申请人：

申请人地址：

130000 吉林省长春市人民大街5988号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3702

代理机构：

北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465

代理人：

李冉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20181129
2019-03-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN109461641B ,2024-03-19

[2]

一种等离子刻蚀装置 [P].

崔岸 ;

郝裕兴 ;

张睿 ;

陈宠 ;

刘芳芳 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

杨伟丽 ;

徐晓倩 .

中国专利 :CN209045484U ,2019-06-28

[3]

等离子刻蚀装置 [P].

赵亮亮 ;

姚森 ;

谢飞 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

张文杰 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099573U ,2021-08-31

[4]

等离子刻蚀装置 [P].

谢飞 ;

姚森 ;

赵亮亮 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099574U ,2021-08-31

[5]

等离子刻蚀装置 [P].

姚森 ;

谢飞 ;

张文杰 ;

邵克坚 ;

王猛 ;

赵亮亮 ;

朱宏斌 .

中国专利 :CN214099572U ,2021-08-31

[6]

一种等离子刻蚀方法及等离子刻蚀装置 [P].

李宛泽 ;

刘轩 ;

刘祖宏 .

中国专利 :CN106504971B ,2017-03-15

[7]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797B ,2024-12-31

[8]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797A ,2024-11-26

[9]

一种等离子刻蚀装置 [P].

罗凯 ;

王子荣 ;

康凯 .

中国专利 :CN112863992B ,2021-05-28

[10]

等离子刻蚀装置 [P].

叶璘珂 ;

陈诚 ;

张德伟 ;

荆泉 .

中国专利 :CN222190625U ,2024-12-17

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