共 50 条
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
单晶制造装置及单晶的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200980109099.6
申请日：
2009-02-17
公开(公告)号：
CN101970728B
公开(公告)日：
2011-02-09
发明(设计)人：
阿部孝夫
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
C30B2906
C30B1500
代理机构：
隆天国际知识产权代理有限公司 72003
代理人：
郑小军;冯志云
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2011-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059705103 IPC(主分类):C30B 29/06 专利申请号:2009801090996 申请日:20090217 |
| 2011-02-09 | 公开 | 公开 |