发明(设计)人:
邬笑炜
J·Y·孙
M·R·赖斯
代理机构:
上海专利商标事务所有限公司 31100
共 50 条
[4]
使用金属卤化物前体的金属氧化物原子层沉积
[P].
李英熙
论文数: 0 引用数: 0
h-index: 0
机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
李英熙
;
米歇尔·玛格丽塔·弗洛里斯埃斯皮诺萨
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
米歇尔·玛格丽塔·弗洛里斯埃斯皮诺萨
;
萨曼莎·西亚姆华·坦
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
朗姆研究公司
朗姆研究公司
萨曼莎·西亚姆华·坦
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美国专利 :CN120826495A ,2025-10-21