一种激光加工晶圆柔性夹持结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021701245.4
申请日
2020-08-16
公开(公告)号
CN212946277U
公开(公告)日
2021-04-13
发明(设计)人
巩铁建 陶为银
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
IPC主分类号
B23K3704
IPC分类号
B23K2670
代理机构
郑州中原专利事务所有限公司 41109
代理人
张春
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构 [P]. 
巩铁建 ;
陶为银 .
中国专利 :CN213053503U ,2021-04-27
[2]
激光加工晶圆转运结构 [P]. 
时文飞 ;
邢智聪 ;
朱擎宇 .
中国专利 :CN212848341U ,2021-03-30
[3]
激光加工晶圆取料移动结构 [P]. 
时文飞 ;
邢智聪 ;
朱擎宇 .
中国专利 :CN213531235U ,2021-06-25
[4]
晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15
[5]
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巩铁建 ;
陶为银 .
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[6]
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[7]
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请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
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[8]
一种晶圆加工用夹持机构 [P]. 
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[9]
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巩铁建 .
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[10]
晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
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