一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021902363.1
申请日
2020-09-03
公开(公告)号
CN213053503U
公开(公告)日
2021-04-27
发明(设计)人
巩铁建 陶为银
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
IPC主分类号
B23K3704
IPC分类号
B23K2670 B23K2638
代理机构
郑州中原专利事务所有限公司 41109
代理人
范小方
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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