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一种晶圆夹持运输结构
被引：0
申请号：
CN202222905836.9
申请日：
2022-11-02
公开(公告)号：
CN218464906U
公开(公告)日：
2023-02-10
发明(设计)人：
何平
朱洪波
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道富家路609号
IPC主分类号：
B65G4790
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-10 | 授权 | 授权 |