用于恒温处理衬底的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680015241.7

申请日：

2006-03-30

公开(公告)号：

CN101171522B

公开(公告)日：

2008-04-30

发明(设计)人：

马库斯·艾布尔

申请人：

申请人地址：

德国马丁斯瑞德

IPC主分类号：

G01R104

IPC分类号：

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

武玉琴;褚海英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-30	公开	公开
2008-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-08-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于处理衬底的处理装置和方法 [P].

乌里·霍夫曼 ;

卓斯·曼纽尔·迪格茨-加波 .

中国专利 :CN101431004A ,2009-05-13

[2]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金大民 ;

李瑟 ;

李福圭 ;

李载明 .

中国专利 :CN106206373A ,2016-12-07

[3]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金珉贞 ;

韩真儿 ;

金俙焕 ;

洪榕焄 ;

金京肃 ;

朴钟赫 ;

朴珍炯 ;

郑大赫 ;

车知勋 .

韩国专利 :CN118016561A ,2024-05-10

[4]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金东勋 ;

林铉民 ;

尹和一 .

韩国专利 :CN118553588A ,2024-08-27

[5]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

田明娥 ;

李茂贤 ;

李瑟 .

中国专利 :CN110534457A ,2019-12-03

[6]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

I·米科利 ;

P·S·劳弗 .

德国专利 :CN120476225A ,2025-08-12

[7]

用于传输和处理衬底的装置和方法 [P].

T·布鲁克 ;

K·P·费尔贝恩 ;

M·S·巴恩斯 ;

C·T·莱恩 .

中国专利 :CN101740439A ,2010-06-16

[8]

用于衬底的接合的装置和方法 [P].

T·瓦根莱特纳 ;

T·普拉赫 ;

J·M·聚斯 .

:CN118098938A ,2024-05-28

[9]

用于衬底的接合的装置和方法 [P].

T·瓦根莱特纳 ;

T·普拉赫 ;

J·M·聚斯 .

:CN118098939A ,2024-05-28

[10]

用于衬底的接合的装置和方法 [P].

T.瓦根莱特纳 ;

T.普拉赫 ;

J.M.聚斯 .

:CN108701592B ,2024-04-05

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