用于处理衬底的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910444327.0

申请日：

2019-05-27

公开(公告)号：

CN110534457A

公开(公告)日：

2019-12-03

发明(设计)人：

田明娥李茂贤李瑟

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;钟锦舜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190527
2019-12-03	公开	公开

共 50 条

[1]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金大民 ;

李瑟 ;

李福圭 ;

李载明 .

中国专利 :CN106206373A ,2016-12-07

[2]

处理衬底的装置和方法 [P].

郑珉珍 ;

金泰焕 ;

姜民雄 ;

刘炫准 ;

姜盛皓 ;

朴松焕 ;

金甫宣 ;

李弘源 ;

赵柱铉 ;

晋龙铎 .

中国专利 :CN112095089A ,2020-12-18

[3]

用于处理衬底的处理装置和方法 [P].

乌里·霍夫曼 ;

卓斯·曼纽尔·迪格茨-加波 .

中国专利 :CN101431004A ,2009-05-13

[4]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金珉贞 ;

韩真儿 ;

金俙焕 ;

洪榕焄 ;

金京肃 ;

朴钟赫 ;

朴珍炯 ;

郑大赫 ;

车知勋 .

韩国专利 :CN118016561A ,2024-05-10

[5]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金东勋 ;

林铉民 ;

尹和一 .

韩国专利 :CN118553588A ,2024-08-27

[6]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

I·米科利 ;

P·S·劳弗 .

德国专利 :CN120476225A ,2025-08-12

[7]

用于传输和处理衬底的装置和方法 [P].

T·布鲁克 ;

K·P·费尔贝恩 ;

M·S·巴恩斯 ;

C·T·莱恩 .

中国专利 :CN101740439A ,2010-06-16

[8]

用于恒温处理衬底的装置和方法 [P].

马库斯·艾布尔 .

中国专利 :CN101171522B ,2008-04-30

[9]

衬底处理装置和方法 [P].

金真奕 .

韩国专利 :CN120236978A ,2025-07-01

[10]

衬底处理装置和方法 [P].

崔泰五 .

中国专利 :CN102903652A ,2013-01-30

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