用于传输和处理衬底的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810184751.8

申请日：

2008-11-14

公开(公告)号：

CN101740439A

公开(公告)日：

2010-06-16

发明(设计)人：

T·布鲁克 K·P·费尔贝恩 M·S·巴恩斯 C·T·莱恩

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

王琼先;王永建

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	授权	授权
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101141311242 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2008101847518 申请日:20081114
2010-06-16	公开	公开
2014-05-07	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700653401 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2008101847518 变更事项:申请人变更前权利人:因特瓦克公司变更后权利人:布鲁克斯自动技术公司变更事项:地址变更前权利人:美国加利福尼亚变更后权利人:美国马萨诸塞登记生效日:20140414

共 50 条

[1]

用于处理衬底的处理装置和方法 [P].

乌里·霍夫曼 ;

卓斯·曼纽尔·迪格茨-加波 .

中国专利 :CN101431004A ,2009-05-13

[2]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金大民 ;

李瑟 ;

李福圭 ;

李载明 .

中国专利 :CN106206373A ,2016-12-07

[3]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金东勋 ;

林铉民 ;

尹和一 .

韩国专利 :CN118553588A ,2024-08-27

[4]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金珉贞 ;

韩真儿 ;

金俙焕 ;

洪榕焄 ;

金京肃 ;

朴钟赫 ;

朴珍炯 ;

郑大赫 ;

车知勋 .

韩国专利 :CN118016561A ,2024-05-10

[5]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

I·米科利 ;

P·S·劳弗 .

德国专利 :CN120476225A ,2025-08-12

[6]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

田明娥 ;

李茂贤 ;

李瑟 .

中国专利 :CN110534457A ,2019-12-03

[7]

用于恒温处理衬底的装置和方法 [P].

马库斯·艾布尔 .

中国专利 :CN101171522B ,2008-04-30

[8]

处理衬底的装置和方法 [P].

姜仁熙 .

韩国专利 :CN120236976A ,2025-07-01

[9]

处理衬底的装置和方法 [P].

郑珉珍 ;

金泰焕 ;

姜民雄 ;

刘炫准 ;

姜盛皓 ;

朴松焕 ;

金甫宣 ;

李弘源 ;

赵柱铉 ;

晋龙铎 .

中国专利 :CN112095089A ,2020-12-18

[10]

用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法 [P].

郑镇优 ;

李龙熙 .

中国专利 :CN113921433A ,2022-01-11

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