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一种靶材组件
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420387169.2
申请日：
2014-07-14
公开(公告)号：
CN204162776U
公开(公告)日：
2015-02-18
发明(设计)人：
李晨光
申请人：
申请人地址：
330013 江西省南昌市昌北经济开发区黄家湖西路欧菲光科技园
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：
郝传鑫;熊永强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-02-18 | 授权 | 授权 |
| 2020-07-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20140714 授权公告日:20150218 终止日期:20190714 |