一种靶材组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420387169.2

申请日：

2014-07-14

公开(公告)号：

CN204162776U

公开(公告)日：

2015-02-18

发明(设计)人：

李晨光

申请人：

申请人地址：

330013 江西省南昌市昌北经济开发区黄家湖西路欧菲光科技园

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-18	授权	授权
2020-07-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20140714 授权公告日:20150218 终止日期:20190714

共 50 条

[41]

溅镀靶材组件 [P].

细川昭弘 ;

J·M·怀特 ;

任东吉 .

中国专利 :CN205275690U ,2016-06-01

[42]

靶材的包装组件 [P].

王英洁 ;

朱刘 ;

文崇斌 ;

胡智向 ;

谭继军 .

中国专利 :CN210853317U ,2020-06-26

[43]

铝靶材遮护组件 [P].

倪耀杰 .

中国专利 :CN223406770U ,2025-10-03

[44]

背板及靶材组件 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 .

中国专利 :CN202415679U ,2012-09-05

[45]

一种LCD平面靶材组件的吊装装置 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵丽 ;

闻人湖丹 ;

范文新 ;

周伟君 .

中国专利 :CN217102688U ,2022-08-02

[46]

一种靶材溅射装置 [P].

温质康 ;

乔小平 ;

苏智昱 .

中国专利 :CN215103503U ,2021-12-10

[47]

一种绑定平面靶材 [P].

胡习光 ;

张志祥 ;

刘勇 .

中国专利 :CN221854749U ,2024-10-18

[48]

一种平面拼接靶材 [P].

欧伊翔 ;

王浩琦 ;

王连才 .

中国专利 :CN220619081U ,2024-03-19

[49]

一种靶材浇铸设备 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 ;

刘海燕 ;

李宝英 .

中国专利 :CN210237757U ,2020-04-03

[50]

一种平面靶材模具 [P].

李叶 ;

李帅 ;

蔡基常 ;

余芳 ;

李明鸿 .

中国专利 :CN221089416U ,2024-06-07

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