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自支撑氮化镓层及其制备方法、退火方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710495305.8
申请日：
2017-06-26
公开(公告)号：
CN107275187A
公开(公告)日：
2017-10-20
发明(设计)人：
特洛伊·乔纳森·贝克
王颖慧
罗晓菊
申请人：
申请人地址：
201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号23幢N1128室
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2178
H01L21324
代理机构：
上海光华专利事务所 31219
代理人：
姚艳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20170626 |
| 2017-10-20 | 公开 | 公开 |