一种半导体元器件组灰尘清理装置

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专利类型
发明
申请号
CN201810645955.0
申请日
2018-06-21
公开(公告)号
CN108655078A
公开(公告)日
2018-10-16
发明(设计)人
朱怀新
申请人
申请人地址
523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区创意生活城B201号
IPC主分类号
B08B302
IPC分类号
B08B308 B08B104 B08B502 B08B504 B08B1300
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体元器件组灰尘清理装置 [P]. 
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