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一种半导体元器件半自动循环清理装置
被引：0
申请号：
CN202111645731.8
申请日：
2021-12-30
公开(公告)号：
CN114284184A
公开(公告)日：
2022-04-05
发明(设计)人：
徐东丽
申请人：
申请人地址：
276100 山东省临沂市郯城县李庄镇青山村郯城高科技电子产业B2、B7栋
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309
代理人：
佘莉芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-05 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211230 |