一种碳化硅外延生长装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210011142.2

申请日：

2022-01-06

公开(公告)号：

CN114059164A

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

蒲勇赵鹏卢勇施建新

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2514

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

唐学青

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20220106
2022-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[2]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

蒲勇 ;

赵鹏 ;

卢勇 ;

施建新 .

中国专利 :CN114150381A ,2022-03-08

[3]

碳化硅外延生长处理装置 [P].

沈鹏远 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

张博 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN223357828U ,2025-09-19

[4]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

赵红伟 .

中国专利 :CN205711042U ,2016-11-23

[5]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN203559154U ,2014-04-23

[6]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN103556219A ,2014-02-05

[7]

碳化硅外延生长承载装置 [P].

高伟 ;

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

扆书樵 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119469U ,2024-12-06

[8]

碳化硅外延生长设备 [P].

邓家乐 ;

谢添乐 ;

巩小亮 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 .

中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11

[9]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[10]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

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