碳化硅外延生长承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420642548.5

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN222119469U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

高伟韩景瑞丁雄傑扆书樵李锡光

申请人：

广东天域半导体股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C30B29/36 C23C16/458

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈进芳

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[2]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[3]

碳化硅外延片生长载盘 [P].

张郁坚 ;

马爽 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119470U ,2024-12-06

[4]

碳化硅外延生长处理装置 [P].

沈鹏远 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

张博 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN223357828U ,2025-09-19

[5]

碳化硅外延生长加工装置 [P].

沈鹏远 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

张博 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN223357829U ,2025-09-19

[6]

碳化硅外延生长管路系统 [P].

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

杨旭腾 ;

李锡光 .

中国专利 :CN218203172U ,2023-01-03

[7]

碳化硅外延生长设备 [P].

邓家乐 ;

谢添乐 ;

巩小亮 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 .

中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11

[8]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

[9]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

赵红伟 .

中国专利 :CN205711042U ,2016-11-23

[10]

碳化硅外延生长装置及碳化硅外延晶片的制造方法 [P].

酒井雅 ;

香月真一郎 ;

小林和雄 ;

日野泰成 .

中国专利 :CN112210827A ,2021-01-12

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