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碳化硅外延生长承载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420642548.5
申请日：
2024-03-29
公开(公告)号：
CN222119469U
公开(公告)日：
2024-12-06
发明(设计)人：
高伟
韩景瑞
丁雄傑
扆书樵
李锡光
申请人：
广东天域半导体股份有限公司
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
C30B29/36
C23C16/458
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
陈进芳
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
东莞市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-06 | 授权 | 授权 |