碳化硅外延生长承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420642548.5

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN222119469U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

高伟韩景瑞丁雄傑扆书樵李锡光

申请人：

广东天域半导体股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C30B29/36 C23C16/458

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈进芳

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[41]

碳化硅外延衬底 [P].

堀勉 ;

伊东洋典 .

中国专利 :CN208266305U ,2018-12-21

[42]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150B ,2025-10-28

[43]

碳化硅外延衬底 [P].

堀勉 ;

伊东洋典 .

中国专利 :CN207091557U ,2018-03-13

[44]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN103946953A ,2014-07-23

[45]

碳化硅外延片的生长工艺 [P].

冯禹 ;

丁雄傑 ;

韩景瑞 ;

鲍勇年 ;

李锡光 .

中国专利 :CN118256991A ,2024-06-28

[46]

一种碳化硅外延生长的喷淋装置及碳化硅生长工艺方法 [P].

鞠涛 ;

张立国 ;

李哲 ;

范亚明 ;

张泽洪 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN106350864A ,2017-01-25

[47]

用于碳化硅衬底的外延生长室 [P].

曾泽斌 .

中国专利 :CN119465391A ,2025-02-18

[48]

一种碳化硅外延生长设备 [P].

毛瑞川 ;

李辉 ;

丁柏松 ;

陆友峰 ;

孙国峰 .

中国专利 :CN118639325A ,2024-09-13

[49]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN107452784A ,2017-12-08

[50]

用于碳化硅外延的加热装置 [P].

傅林坚 ;

沈文杰 ;

周建灿 ;

邵鹏飞 ;

汤承伟 ;

周航 ;

潘礼钱 .

中国专利 :CN210765582U ,2020-06-16

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