一种碳化硅外延生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620357583.8

申请日：

2016-04-26

公开(公告)号：

CN205711042U

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

赵红伟

申请人：

申请人地址：

101111 北京市通州区经济技术开发区通惠干渠路17号院

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2514 C30B2520

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

尹振启;张希宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	授权	授权
2020-09-11	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20160426 授权公告日:20161123 解除日:20200810
2018-09-14	专利权的保全及其解除	专利权的保全 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20160426 授权公告日:20161123 登记生效日:20180814

共 50 条

[1]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[2]

一种碳化硅外延生长装置及方法 [P].

赵红伟 .

中国专利 :CN105714380A ,2016-06-29

[3]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[4]

碳化硅外延片生长载盘 [P].

张郁坚 ;

马爽 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119470U ,2024-12-06

[5]

一种碳化硅外延生长的控制方法及碳化硅外延片 [P].

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN112466745B ,2021-03-09

[6]

碳化硅外延生长管路系统 [P].

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

杨旭腾 ;

李锡光 .

中国专利 :CN218203172U ,2023-01-03

[7]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN203559154U ,2014-04-23

[8]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN103556219A ,2014-02-05

[9]

碳化硅外延生长承载装置 [P].

高伟 ;

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

扆书樵 ;

李锡光 .

中国专利 :CN222119469U ,2024-12-06

[10]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

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