一种碳化硅外延生长装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610263330.9

申请日：

2016-04-26

公开(公告)号：

CN105714380A

公开(公告)日：

2016-06-29

发明(设计)人：

赵红伟

申请人：

申请人地址：

101111 北京市通州区经济技术开发区通惠干渠路17号院

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2514 C30B2520

代理机构：

北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003

代理人：

尹振启;张希宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101671884457 IPC(主分类):C30B 29/36 专利申请号:2016102633309 申请日:20160426
2016-06-29	公开	公开
2019-05-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 29/36 申请公布日:20160629

共 50 条

[1]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

赵红伟 .

中国专利 :CN205711042U ,2016-11-23

[2]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

[3]

一种碳化硅外延生长的控制方法及碳化硅外延片 [P].

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN112466745B ,2021-03-09

[4]

碳化硅外延片的生长方法及碳化硅外延片 [P].

张士良 ;

冯尹 ;

张鹏 ;

马万里 ;

钟泳生 .

中国专利 :CN120967508A ,2025-11-18

[5]

一种碳化硅外延生长设备及方法 [P].

张广辉 ;

布丛郝 ;

徐玉田 ;

李达 .

中国专利 :CN119162668A ,2024-12-20

[6]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08

[7]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095A ,2025-04-25

[8]

一种提升少子寿命的碳化硅外延生长方法及碳化硅外延片 [P].

张永强 ;

李召永 ;

李洪浩 ;

尹志鹏 ;

吴会旺 ;

薛宏伟 .

中国专利 :CN118983215A ,2024-11-19

[9]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN203559154U ,2014-04-23

[10]

一种碳化硅外延生长装置 [P].

钮应喜 ;

杨霏 ;

于坤山 .

中国专利 :CN103556219A ,2014-02-05

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