共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
互连结构的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010613437.4
申请日：
2010-12-29
公开(公告)号：
CN102569170A
公开(公告)日：
2012-07-11
发明(设计)人：
邓武锋
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L213213
H01L2102
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-09-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324730840 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2010106134374 申请日:20101229 |
| 2012-07-11 | 公开 | 公开 |
| 2015-05-13 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714969414 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2010106134374 申请公布日:20120711 |