互连结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110407271.5

申请日：

2011-12-08

公开(公告)号：

CN103165518A

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23522

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-03	授权	授权
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101494125684 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011104072715 申请日:20111208
2013-06-19	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103165523B ,2013-06-19

[2]

互连结构的制造方法 [P].

周鸣 ;

洪中山 .

中国专利 :CN103165513B ,2013-06-19

[3]

互连结构的制造方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102569170A ,2012-07-11

[4]

互连结构的制造方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102693935A ,2012-09-26

[5]

互连结构及其制造方法以及使用互连结构的半导体器件 [P].

林瑀宏 ;

刘继文 ;

曾鸿辉 .

中国专利 :CN106531805A ,2017-03-22

[6]

多级互连结构及其制造方法 [P].

安东尼奥·迪·佛朗哥 ;

西尔维奥·克里斯托法洛 ;

马科·博尼法西奥 .

中国专利 :CN102237303A ,2011-11-09

[7]

互连结构 [P].

钟汇才 ;

朱慧珑 ;

张鹏 .

中国专利 :CN104422987A ,2015-03-18

[8]

互连结构 [P].

孙明亮 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

熊建锋 ;

吴明 .

中国专利 :CN209571414U ,2019-11-01

[9]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN103560107A ,2014-02-05

[10]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN101523591A ,2009-09-02

← 1 2 3 4 5 →