一种光刻机硅片载物台温度控制系统及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110307965.1

申请日：

2011-10-12

公开(公告)号：

CN102445856A

公开(公告)日：

2012-05-09

发明(设计)人：

朱骏

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G05D2320

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

王敏杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271730115 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011103079651 申请日:20111012
2012-05-09	公开	公开
2014-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机温控硅片载物台 [P].

朱骏 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN102445857B ,2012-05-09

[2]

光刻机内部温度控制系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

靳雪仪 ;

陈钰思阳 .

中国专利 :CN119620560A ,2025-03-14

[3]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910B ,2025-06-17

[4]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910A ,2022-09-30

[5]

光刻机控制系统和方法 [P].

王伟 ;

李蒙 .

中国专利 :CN110874020A ,2020-03-10

[6]

光刻机的污染控制系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

沙鹏飞 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280893A ,2022-04-05

[7]

光刻机控制系统 [P].

霍志军 ;

周权 ;

潘菊凤 ;

陈建民 .

中国专利 :CN101581886A ,2009-11-18

[8]

光刻机载物台控制方法 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117452774A ,2024-01-26

[9]

湿度控制装置及其温度控制系统与光刻机台 [P].

骆建钢 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN108240681A ,2018-07-03

[10]

一种激光光刻机控制系统及其光刻机 [P].

殷庆纵 ;

张宇峰 ;

王栋 .

中国专利 :CN205485277U ,2016-08-17

← 1 2 3 4 5 →