湿度控制装置及其温度控制系统与光刻机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810060863.6

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108240681A

公开(公告)日：

2018-07-03

发明(设计)人：

骆建钢黄志凯

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

F24F100

IPC分类号：

F24F314 F24F1170 G03F720 F24F11020

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-03	公开	公开
2020-08-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):F24F 1/00 申请公布日:20180703
2018-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F24F 1/00 申请日:20180122

共 50 条

[1]

光刻机内部温度控制系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

靳雪仪 ;

陈钰思阳 .

中国专利 :CN119620560A ,2025-03-14

[2]

光刻机控制系统 [P].

霍志军 ;

周权 ;

潘菊凤 ;

陈建民 .

中国专利 :CN101581886A ,2009-11-18

[3]

光刻机及光刻机的控制方法和控制系统、生产设备 [P].

林启群 .

中国专利 :CN113534616A ,2021-10-22

[4]

光刻机及光刻机的控制方法和控制系统、生产设备 [P].

林启群 .

中国专利 :CN113534616B ,2024-03-26

[5]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910B ,2025-06-17

[6]

光刻机控制系统以及控制方法 [P].

马鹏川 ;

吴卫军 ;

杨元培 .

中国专利 :CN115128910A ,2022-09-30

[7]

一种光刻机硅片载物台温度控制系统及其控制方法 [P].

朱骏 .

中国专利 :CN102445856A ,2012-05-09

[8]

一种激光光刻机控制系统及其光刻机 [P].

殷庆纵 ;

张宇峰 ;

王栋 .

中国专利 :CN205485277U ,2016-08-17

[9]

一种激光光刻机控制系统及其光刻机 [P].

殷庆纵 ;

张宇峰 ;

王栋 .

中国专利 :CN105467778A ,2016-04-06

[10]

高温机台及机台温度控制系统 [P].

王亚楠 ;

熊记伟 ;

储康 .

中国专利 :CN216748563U ,2022-06-14

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