一种用于液相外延工艺的可调式石墨舟

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010740752.7

申请日：

2020-07-28

公开(公告)号：

CN111876825A

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

杨海燕刘铭曹鹏飞折伟林郝斐

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号

IPC主分类号：

C30B1906

IPC分类号：

代理机构：

工业和信息化部电子专利中心 11010

代理人：

罗丹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-03	公开	公开
2020-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 19/06 申请日:20200728

共 50 条

[1]

一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟 [P].

邱锋 ;

胡淑红 ;

孙常鸿 ;

王奇伟 ;

吕英飞 ;

郭建华 ;

邓惠勇 ;

戴宁 .

中国专利 :CN203128690U ,2013-08-14

[2]

一种用于水平液相外延生长的石墨舟 [P].

邸拴虎 ;

袁卫华 ;

魏唯 ;

罗才旺 ;

罗臻 .

中国专利 :CN111118597B ,2020-05-08

[3]

一种用于水平液相外延生长的石墨舟 [P].

罗才旺 ;

陈峰武 ;

魏唯 .

中国专利 :CN107779948A ,2018-03-09

[4]

一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法 [P].

杨海燕 ;

刘铭 ;

郝斐 ;

赵硕 ;

吴卿 .

中国专利 :CN113930839A ,2022-01-14

[5]

一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法 [P].

田震 ;

周立庆 ;

马建立 ;

胡尚正 .

中国专利 :CN102995115B ,2013-03-27

[6]

一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟 [P].

邓惠勇 ;

王奇伟 ;

戴宁 .

中国专利 :CN101225542A ,2008-07-23

[7]

多片立式旋转液相外延石墨舟 [P].

张富文 ;

元金山 ;

李向文 .

中国专利 :CN2413385Y ,2001-01-03

[8]

一种用于提升液相外延薄膜质量的石墨舟及方法 [P].

邢晓帅 ;

胡易林 ;

郝斐 ;

杨美华 ;

杨海燕 ;

折伟林 ;

邢伟荣 ;

曹鹏飞 ;

王利军 .

中国专利 :CN119308008A ,2025-01-14

[9]

一种用于镓铟系合金液相外延生长的石墨舟 [P].

杨万丽 ;

林虹宇 ;

张天宁 ;

朱家旗 ;

单玉凤 ;

俞国林 ;

戴宁 .

中国专利 :CN120231121B ,2025-09-12

[10]

一种用于镓铟系合金液相外延生长的石墨舟 [P].

杨万丽 ;

林虹宇 ;

张天宁 ;

朱家旗 ;

单玉凤 ;

俞国林 ;

戴宁 .

中国专利 :CN120231121A ,2025-07-01

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