一种用于提升液相外延薄膜质量的石墨舟及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411299805.0

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN119308008A

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

邢晓帅胡易林郝斐杨美华杨海燕折伟林邢伟荣曹鹏飞王利军

申请人：

中国电子科技集团公司第十一研究所

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号

IPC主分类号：

C30B19/06

IPC分类号：

C30B29/48

代理机构：

工业和信息化部电子专利中心 11010

代理人：

鲁莎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 19/06申请日:20240918
2025-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于碲镉汞薄膜水平液相外延生长的石墨舟 [P].

杨海燕 ;

胡尚正 ;

郭明珠 ;

周立庆 .

中国专利 :CN106637390A ,2017-05-10

[2]

一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法 [P].

田震 ;

周立庆 ;

马建立 ;

胡尚正 .

中国专利 :CN102995115B ,2013-03-27

[3]

一种垂直液相外延石墨舟及采用其实现外延的方法 [P].

吴寅 ;

何军 ;

王佳莹 ;

杜祥甫 .

中国专利 :CN118957740A ,2024-11-15

[4]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112080796B ,2020-12-15

[5]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111962146A ,2020-11-20

[6]

一种用于水平液相外延生长的石墨舟 [P].

邸拴虎 ;

袁卫华 ;

魏唯 ;

罗才旺 ;

罗臻 .

中国专利 :CN111118597B ,2020-05-08

[7]

一种用于水平液相外延生长的石墨舟 [P].

罗才旺 ;

陈峰武 ;

魏唯 .

中国专利 :CN107779948A ,2018-03-09

[8]

水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114934317A ,2022-08-23

[9]

多片式薄膜垂直液相外延的石墨舟、生长装置及生长方法 [P].

田震 ;

宋淑芳 ;

殷雪 .

中国专利 :CN112160024A ,2021-01-01

[10]

一种用于液相外延工艺的可调式石墨舟 [P].

杨海燕 ;

刘铭 ;

曹鹏飞 ;

折伟林 ;

郝斐 .

中国专利 :CN111876825A ,2020-11-03

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