氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03119819.8

申请日：

1997-09-30

公开(公告)号：

CN1526786A

公开(公告)日：

2004-09-08

发明(设计)人：

吉田诚人芦泽寅之助寺崎裕树仓田靖松泽纯丹野清仁大槻裕人

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

郝庆芬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-09-08	公开	公开
2007-06-27	授权	授权
2004-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法 [P].

吉田诚人 ;

芦泽寅之助 ;

寺崎裕树 ;

仓田靖 ;

松泽纯 ;

丹野清仁 ;

大槻裕人 .

中国专利 :CN1245471C ,2004-09-01

[2]

氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法 [P].

吉田诚人 ;

芦泽寅之助 ;

寺崎裕树 ;

仓田靖 ;

松泽纯 ;

丹野清仁 ;

大槻裕人 .

中国专利 :CN1282226C ,1999-11-17

[3]

氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法 [P].

吉田诚人 ;

芦泽寅之助 ;

寺崎裕树 ;

仓田靖 ;

松泽纯 ;

丹野清仁 ;

大槻裕人 .

中国专利 :CN101649182A ,2010-02-17

[4]

氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法 [P].

吉田诚人 ;

芦泽寅之助 ;

寺崎裕树 ;

仓田靖 ;

松泽纯 ;

丹野清仁 ;

大槻裕人 .

中国专利 :CN1935927B ,2007-03-28

[5]

氧化铈研磨剂以及包含该研磨剂的浆料 [P].

鲁埈硕 ;

吴明焕 ;

金长烈 ;

金钟泌 ;

曹升范 .

中国专利 :CN100588698C ,2007-07-25

[6]

铈盐、其制造方法、氧化铈以及铈系研磨剂 [P].

茅根环司 ;

宫冈清二 .

中国专利 :CN1849264A ,2006-10-18

[7]

CMP研磨剂及基板的研磨方法 [P].

芳贺浩二 ;

大槻裕人 ;

仓田靖 ;

榎本和宏 .

中国专利 :CN1982401B ,2007-06-20

[8]

CMP研磨剂及基板的研磨方法 [P].

芳贺浩二 ;

大槻裕人 ;

仓田靖 ;

榎本和宏 .

中国专利 :CN100339954C ,2005-09-28

[9]

CMP研磨剂及基板的研磨方法 [P].

芳贺浩二 ;

大槻裕人 ;

仓田靖 ;

榎本和宏 .

中国专利 :CN101029214A ,2007-09-05

[10]

铈系研磨剂 [P].

茅根环司 ;

宫冈清二 .

中国专利 :CN101885959A ,2010-11-17

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