一种电子束蒸发镀镍的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811615221.4

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN109628893A

公开(公告)日：

2019-04-16

发明(设计)人：

刘齐成

申请人：

申请人地址：

511400 广东省广州市番禺区沙头街禺山西路363号联邦工业城内

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1416 C23C1402

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

李静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-16	公开	公开
2021-12-31	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/30 申请公布日:20190416
2019-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20181227

共 50 条

[1]

一种电子束蒸发镀钛的方法 [P].

刘齐成 .

中国专利 :CN109536885A ,2019-03-29

[2]

一种电子束蒸发镀Au的方法 [P].

成飞 ;

姚林松 .

中国专利 :CN112695279A ,2021-04-23

[3]

电子束蒸发装置 [P].

G·马陶什 ;

H·弗拉斯克 ;

J·-S·利比格 ;

V·柯克霍夫 ;

J·-P·海因斯 ;

L·克洛斯 .

中国专利 :CN101484966B ,2009-07-15

[4]

电子束蒸发装置 [P].

王政英 ;

黄建伟 ;

邹冰艳 ;

潘昭海 ;

曹伟宸 .

中国专利 :CN101748369A ,2010-06-23

[5]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[6]

一种电子束蒸发镀膜用镀锅 [P].

刘刚 ;

严帅帅 ;

冷祥 ;

魏明 .

中国专利 :CN119332214A ,2025-01-21

[7]

一种电子束蒸发台 [P].

张军区 ;

杜国强 ;

董金良 .

中国专利 :CN214088644U ,2021-08-31

[8]

一种电子束蒸发装置 [P].

魏国军 ;

安永 ;

王培元 .

中国专利 :CN222389904U ,2025-01-24

[9]

电子束蒸发镀膜系统 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN214496458U ,2021-10-26

[10]

一种电子束蒸发台 [P].

马溢华 .

中国专利 :CN212223086U ,2020-12-25

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