一种湿法化学刻蚀制备黑硅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610071219.X

申请日：

2016-02-01

公开(公告)号：

CN105551953A

公开(公告)日：

2016-05-04

发明(设计)人：

蒲天罗旌旺吴兢芮春保汪洋

申请人：

申请人地址：

210061 江苏省南京市浦口高新开发区星火路1号

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林;王玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101662913693 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:201610071219X 申请日:20160201
2018-03-06	授权	授权
2016-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种利用湿法刻蚀制备黑硅的方法 [P].

宫俊峰 .

中国专利 :CN104638062A ,2015-05-20

[2]

一种利用湿法刻蚀制备黑硅的方法 [P].

王耀斌 .

中国专利 :CN107978524A ,2018-05-01

[3]

一种湿法黑硅制备方法 [P].

朱姚培 ;

王磊 ;

蒋健 ;

唐磊 ;

陈桂宝 .

中国专利 :CN108277529A ,2018-07-13

[4]

一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法 [P].

章天瑜 ;

张文锋 ;

胡玉婷 ;

张文超 ;

范启泽 ;

张雄伟 .

中国专利 :CN108963031A ,2018-12-07

[5]

湿法黑硅制备工艺 [P].

刘斌 ;

黄辉巍 ;

陈正飞 .

中国专利 :CN109537058B ,2019-03-29

[6]

一种多晶黑硅电池片的化学刻蚀制造方法 [P].

金建江 ;

曾飞亮 .

中国专利 :CN109560167A ,2019-04-02

[7]

一种链式湿化学法制备可控结构多晶黑硅的方法 [P].

杜欢 ;

蒲天 ;

吴兢 ;

赵兴国 .

中国专利 :CN108054238A ,2018-05-18

[8]

一种湿法槽式黑硅制绒方法 [P].

樊选胜 ;

宛正 ;

缪云展 ;

曹磊 .

中国专利 :CN110416353A ,2019-11-05

[9]

一种真空湿法刻蚀装置 [P].

王燕东 ;

曾周芳 .

中国专利 :CN216528773U ,2022-05-13

[10]

一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用 [P].

周成刚 ;

马圆圆 ;

魏钰 ;

陈琳 .

中国专利 :CN112221010B ,2021-01-15

← 1 2 3 4 5 →