等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010623407.1

申请日：

2010-12-28

公开(公告)号：

CN102110573A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

林大辅

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3704 H01L2100 H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-24	授权	授权
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096117016 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010106234071 申请日:20101228
2011-06-29	公开	公开

共 50 条

[41]

等离子体处理方法 [P].

西岛贵史 .

中国专利 :CN107424899A ,2017-12-01

[42]

等离子体处理装置 [P].

岩濑拓 ;

手束勉 ;

矶崎真一 ;

横川贤悦 ;

森政士 .

中国专利 :CN109935511B ,2019-06-25

[43]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN108476584B ,2018-08-31

[44]

等离子体处理装置 [P].

吉村章弘 ;

佐藤彻治 ;

堀口将人 ;

和田畅弘 ;

小林真 ;

辻本宏 ;

田村纯 ;

直井护 .

中国专利 :CN105742150A ,2016-07-06

[45]

等离子体处理装置 [P].

高桥大辅 ;

塚本千里 .

中国专利 :CN110278650A ,2019-09-24

[46]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

野泽俊久 ;

森田治 ;

汤浅珠树 ;

小谷光司 .

中国专利 :CN1875467A ,2006-12-06

[47]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

须川成利 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1460286A ,2003-12-03

[48]

等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

齐藤武尚 ;

宇田真代 ;

豊田启吾 ;

阿洛克·兰根 ;

中岛俊希 .

日本专利 :CN117440590B ,2024-12-27

[49]

等离子体处理装置 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN102456531B ,2012-05-16

[50]

等离子体处理装置 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 ;

町山弥 .

中国专利 :CN109216148B ,2019-01-15

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