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用于硅片清洗的硅片保持装置、液体清洗设备及清洗系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011284939.7
申请日：
2020-11-17
公开(公告)号：
CN112509968A
公开(公告)日：
2021-03-16
发明(设计)人：
王强
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
B08B302
B08B308
B08B100
B08B1300
代理机构：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人：
李斌栋;姚勇政
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-16 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20220805 变更事项:申请人 变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司 变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号 变更后权利人:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室 变更事项:申请人 变更前权利人:西安奕斯伟材料技术有限公司 变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 2021-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20201117 |