预对准装置及晶圆处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920784669.2

申请日：

2019-05-28

公开(公告)号：

CN209691737U

公开(公告)日：

2019-11-26

发明(设计)人：

沈洪陈丽娟王承惠

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[2]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[3]

晶圆预对准装置 [P].

邓帅飞 ;

肖蓉 ;

李运锋 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN215299213U ,2021-12-24

[4]

晶圆预对准装置 [P].

杨涧 ;

王通 ;

吕瑞卿 .

中国专利 :CN220856535U ,2024-04-26

[5]

晶圆预对准装置 [P].

郎叶威 ;

蒋志韬 ;

冯金武 .

中国专利 :CN222673000U ,2025-03-25

[6]

一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

付红艳 ;

郎新科 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114695225A ,2022-07-01

[7]

晶圆处理设备及晶圆处理系统 [P].

田建辉 ;

岳超俊 .

中国专利 :CN223273227U ,2025-08-26

[8]

晶圆对准臂及晶圆对准装置 [P].

杨轩毅 ;

任瑞 ;

刘普然 .

中国专利 :CN217485421U ,2022-09-23

[9]

晶圆预对准方法及系统 [P].

崔攀 ;

汤庚 .

中国专利 :CN118335641A ,2024-07-12

[10]

晶圆预对准装置 [P].

边弘晔 ;

张鹏 ;

陈守良 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

温燕修 ;

邹风山 .

中国专利 :CN103199050B ,2013-07-10

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