一种碳化硅籽晶及其处理方法和一种碳化硅晶体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910674058.7

申请日：

2019-07-25

公开(公告)号：

CN112281220B

公开(公告)日：

2021-01-29

发明(设计)人：

郭少聪王军陈小芳周维蔡凯黄晓升崔孟华

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号

IPC主分类号：

C30B3500

IPC分类号：

C30B2300 C30B2936

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447

代理人：

董琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-29	公开	公开
2021-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 35/00 申请日:20190725
2022-06-14	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅籽晶、碳化硅籽晶组件及其制备方法和制备碳化硅晶体的方法 [P].

蔡凯 ;

郭少聪 ;

王军 ;

周维 .

中国专利 :CN113897684A ,2022-01-07

[2]

碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P].

周国清 .

中国专利 :CN120401008A ,2025-08-01

[3]

碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P].

周国清 .

中国专利 :CN120401009A ,2025-08-01

[4]

碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件 [P].

蔡凯 ;

郭少聪 ;

王军 ;

周维 .

中国专利 :CN113897685A ,2022-01-07

[5]

高质量碳化硅籽晶、碳化硅晶体、碳化硅衬底及其制备方法 [P].

彭同华 ;

王波 ;

赵宁 ;

娄艳芳 ;

郭钰 ;

张贺 ;

刘春俊 ;

杨建 .

中国专利 :CN113186601B ,2021-07-30

[6]

碳化硅籽晶 [P].

燕靖 ;

陈俊宏 .

中国专利 :CN216473579U ,2022-05-10

[7]

一种碳化硅晶体生长用的碳化硅籽晶 [P].

陶莹 ;

邓树军 ;

高宇 ;

段聪 ;

赵梅玉 .

中国专利 :CN203065637U ,2013-07-17

[8]

一种碳化硅籽晶的处理方法和碳化硅晶体的生长方法 [P].

李佳君 ;

王蓉 ;

皮孝东 ;

高万冬 ;

沈典宇 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN115595663A ,2023-01-13

[9]

一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法 [P].

潘尧波 ;

薛卫明 ;

马远 .

中国专利 :CN111809238A ,2020-10-23

[10]

碳化硅籽晶夹具 [P].

燕靖 ;

陈俊宏 .

中国专利 :CN216473580U ,2022-05-10

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