图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180046659.5

申请日：

2011-09-26

公开(公告)号：

CN103124928A

公开(公告)日：

2013-05-29

发明(设计)人：

梅泽朋一

申请人：

申请人地址：

日本东京港区西麻布二丁目26番30号

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F732 G03F740 H01L21027

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-29	公开	公开
2015-09-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101720463289 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2011800466595 申请公布日:20130529
2013-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101480524445 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2011800466595 申请日:20110926

共 50 条

[1]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1194383C ,2003-12-10

[2]

图案形成方法 [P].

田中启顺 ;

渡边保 ;

渡邉聪 .

中国专利 :CN101982807B ,2011-03-02

[3]

图案形成方法 [P].

平野祯典 ;

柳泽秀好 .

中国专利 :CN108459469B ,2018-08-28

[4]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1433052A ,2003-07-30

[5]

图案形成方法 [P].

山中司 ;

川本崇司 .

中国专利 :CN110673447A ,2020-01-10

[6]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1604275A ,2005-04-06

[7]

图案形成方法 [P].

佐藤康彦 ;

盐原英志 ;

佐藤基之 ;

大西廉伸 ;

富田宽 ;

大岩德久 ;

大内淳子 ;

林久贵 .

中国专利 :CN1244956C ,2001-10-31

[8]

图案形成方法 [P].

荻原勤 ;

矢野俊治 ;

前田和规 ;

三井亮 ;

永田岳志 .

中国专利 :CN110895380A ,2020-03-20

[9]

图案形成方法 [P].

小林直贵 ;

山口秀范 ;

石绵健汰 .

日本专利 :CN121054484A ,2025-12-02

[10]

图案形成方法 [P].

渡边司 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN110515272A ,2019-11-29

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