图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01111758.3

申请日：

2001-03-23

公开(公告)号：

CN1244956C

公开(公告)日：

2001-10-31

发明(设计)人：

佐藤康彦盐原英志佐藤基之大西廉伸富田宽大岩德久大内淳子林久贵

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2130

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

杜日新

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-08	授权	授权
2001-08-15	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2010-08-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004441129 IPC(主分类):H01L 21/30 专利号:ZL011117583 申请日:20010323 授权公告日:20060308
2001-10-31	公开	公开

共 50 条

[1]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1194383C ,2003-12-10

[2]

图案形成方法 [P].

田中启顺 ;

渡边保 ;

渡邉聪 .

中国专利 :CN101982807B ,2011-03-02

[3]

图案形成方法 [P].

平野祯典 ;

柳泽秀好 .

中国专利 :CN108459469B ,2018-08-28

[4]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1433052A ,2003-07-30

[5]

图案形成方法 [P].

梅泽朋一 .

中国专利 :CN103124928A ,2013-05-29

[6]

图案形成方法 [P].

山中司 ;

川本崇司 .

中国专利 :CN110673447A ,2020-01-10

[7]

图案形成方法 [P].

远藤政孝 ;

笹子胜 .

中国专利 :CN1604275A ,2005-04-06

[8]

图案形成方法 [P].

荻原勤 ;

矢野俊治 ;

前田和规 ;

三井亮 ;

永田岳志 .

中国专利 :CN110895380A ,2020-03-20

[9]

图案形成方法 [P].

小林直贵 ;

山口秀范 ;

石绵健汰 .

日本专利 :CN121054484A ,2025-12-02

[10]

图案形成方法 [P].

渡边司 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN110515272A ,2019-11-29

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