使用肼基前体沉积氮化硼膜

被引：0

申请号：

CN202210954423.1

申请日：

2022-08-10

公开(公告)号：

CN115704091A

公开(公告)日：

2023-02-17

发明(设计)人：

C.德泽拉 T.布兰夸特

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 C07F502 C01B3514

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

焦玉恒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	公开	公开

共 50 条

[41]

氮化硼涂料及使用方法 [P].

闫双志 ;

孙红刚 ;

李鹏涛 ;

谭清华 ;

胡飘 ;

王刚 ;

施飞 ;

方旭 .

中国专利 :CN103708843A ,2014-04-09

[42]

一种热解氮化硼沉积炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

张冬翔 ;

李广敏 .

中国专利 :CN214218853U ,2021-09-17

[43]

立方晶氮化硼烧结体工具 [P].

原田高志 ;

久木野晓 ;

渡部直树 .

日本专利 :CN116096517B ,2025-06-24

[44]

立方晶型氮化硼烧结体 [P].

松川伦子 ;

久木野晓 ;

深谷朋弘 .

中国专利 :CN100425721C ,2007-01-31

[45]

表面被覆氮化硼烧结体工具 [P].

松田裕介 ;

冈村克己 ;

佐野谦太 ;

月原望 ;

濑户山诚 .

中国专利 :CN105339116B ,2016-02-17

[46]

生产氮化硼制品的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN205398723U ,2016-07-27

[47]

基于离子束溅射沉积的六方氮化硼厚膜及制备方法和应用 [P].

殷红 ;

李冬冬 ;

高伟 .

中国专利 :CN111676450A ,2020-09-18

[48]

立方晶氮化硼烧结体工具 [P].

大友克久 .

中国专利 :CN101970156A ,2011-02-09

[49]

一种氮化硼气相沉积设备 [P].

胡祥龙 ;

周岳兵 ;

戴煜 ;

胡高健 ;

王艳艳 .

中国专利 :CN213925008U ,2021-08-10

[50]

新的氮化硼基化合物 [P].

蒙西尔·格拉德·米格南尼 ;

蒙西尔·让·雅克·莱布鲁恩 .

中国专利 :CN1031831A ,1989-03-22

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