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使用肼基前体沉积氮化硼膜
被引：0
申请号：
CN202210954423.1
申请日：
2022-08-10
公开(公告)号：
CN115704091A
公开(公告)日：
2023-02-17
发明(设计)人：
C.德泽拉
T.布兰夸特
申请人：
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
C23C1634
IPC分类号：
C23C16455
C07F502
C01B3514
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
焦玉恒
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 公开 | 公开 |