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半导体材料生产系统及生产方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911424593.3
申请日：
2019-12-31
公开(公告)号：
CN111172583A
公开(公告)日：
2020-05-19
发明(设计)人：
乔焜
高明哲
林岳明
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区文翔东路58号9幢1楼
IPC主分类号：
C30B710
IPC分类号：
C30B2940
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
杜娟娟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-19 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 7/10 申请日:20191231 |
| 2021-05-18 | 授权 | 授权 |