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浅沟槽隔离结构制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310530791.4
申请日：
2013-10-30
公开(公告)号：
CN103531523A
公开(公告)日：
2014-01-22
发明(设计)人：
江润峰
戴树刚
申请人：
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号：
H01L21762
IPC分类号：
代理机构：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人：
吴世华;林彦之
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-02-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573738337 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013105307914 申请日:20131030 |
| 2017-05-31 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752381843 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013105307914 申请公布日:20140122 |
| 2014-01-22 | 公开 | 公开 |