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原子层沉积系统（1）
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201230005663.4
申请日：
2012-01-10
公开(公告)号：
CN301959904S
公开(公告)日：
2012-06-20
发明(设计)人：
吕树玲
万军
夏洋
李超波
陈波
申请人：
申请人地址：
314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号（嘉兴科技城）综合楼A座213室
IPC主分类号：
2401
IPC分类号：
代理机构：
北京市德权律师事务所 11302
代理人：
刘丽君
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 主分类号:24-01 申请日:20120110 授权公告日:20120620 |
| 2012-06-20 | 授权 | 授权 |