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激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法
被引：0
申请号：
CN202111199213.8
申请日：
2021-10-14
公开(公告)号：
CN114374138A
公开(公告)日：
2022-04-19
发明(设计)人：
今村博亮
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01S308
IPC分类号：
H01S310
H01L21268
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
马立荣;李立行
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-16 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01S 3/08 登记生效日:20220906 变更事项:申请人 变更前权利人:株式会社日本制钢所 变更后权利人:JSW阿克迪纳系统有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本神奈川县 |
| 2022-04-19 | 公开 | 公开 |