微机电系统封装结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110659010.6
申请日
2021-06-15
公开(公告)号
CN113562684A
公开(公告)日
2021-10-29
发明(设计)人
冯秀萍
申请人
申请人地址
712000 陕西省咸阳市秦都区珠泉西路三号咸阳师范学院秦都校区
IPC主分类号
B81B700
IPC分类号
代理机构
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126
代理人
朱文军
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
微机电系统封装结构 [P]. 
洪立群 .
中国专利 :CN101850942B ,2010-10-06
[2]
微机电系统封装结构 [P]. 
苏俊豪 ;
R.V.盖德 ;
T.诺塔 ;
陈维孝 .
中国专利 :CN104876175A ,2015-09-02
[3]
微机电系统封装 [P]. 
陈禹睿 ;
王乙翕 ;
李仁铎 ;
刘人豪 .
中国专利 :CN106995204A ,2017-08-01
[4]
微机电系统封装件及微机电系统封装件制造方法 [P]. 
朴昇旭 ;
朴章皓 .
韩国专利 :CN117658053A ,2024-03-08
[5]
一种微机电系统封装结构 [P]. 
雷永庆 ;
周俊 ;
冯军 .
中国专利 :CN115557461A ,2023-01-03
[6]
芯片晶圆封装方法、微机电系统封装方法及微机电系统 [P]. 
黄玲玲 .
中国专利 :CN108928802B ,2024-08-09
[7]
芯片晶圆封装方法、微机电系统封装方法及微机电系统 [P]. 
黄玲玲 .
中国专利 :CN108928802A ,2018-12-04
[8]
微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法 [P]. 
何宪龙 .
中国专利 :CN114302294B ,2024-10-29
[9]
微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法 [P]. 
何宪龙 ;
蒋大明 ;
陈中恝 .
中国专利 :CN114157960B ,2024-08-06
[10]
微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法 [P]. 
何宪龙 ;
蒋大明 ;
陈中恝 .
中国专利 :CN114157960A ,2022-03-08