半导体生产用温控设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720668443.7
申请日
2017-06-09
公开(公告)号
CN207264217U
公开(公告)日
2018-04-20
发明(设计)人
何茂栋 芮守祯 刘紫阳 张申 孙华敏 赵力行 邹昭平 蒋俊海 于浩
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座101、201、401、501
IPC主分类号
G05D2319
IPC分类号
G05D23185 G05D2330 F25B4300 F25B4100
代理机构
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447
代理人
辛自强;陈庆超
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体生产用温控设备 [P]. 
何茂栋 ;
芮守祯 ;
刘紫阳 ;
张申 ;
孙华敏 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN109032201A ,2018-12-18
[2]
半导体生产用温控设备 [P]. 
何茂栋 ;
芮守祯 ;
刘紫阳 ;
张申 ;
孙华敏 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN109032201B ,2024-07-16
[3]
半导体生产用温控设备 [P]. 
何茂栋 ;
芮守祯 ;
孙华敏 ;
张坤 ;
韩玉东 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN206833268U ,2018-01-02
[4]
半导体生产用温控系统 [P]. 
宋朝阳 ;
冯涛 ;
靳李富 ;
常鑫 ;
董春辉 ;
芮守祯 ;
何茂栋 ;
曹小康 .
中国专利 :CN112379704B ,2021-02-19
[5]
用于半导体生产用温控设备的温控系统 [P]. 
宋朝阳 ;
芮守祯 ;
何茂栋 ;
曹小康 ;
冯涛 ;
常鑫 ;
董春辉 ;
李文博 ;
耿海东 .
中国专利 :CN210776340U ,2020-06-16
[6]
半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法 [P]. 
何茂栋 ;
芮守祯 ;
孙华敏 ;
张坤 ;
韩玉东 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN109032200A ,2018-12-18
[7]
一种半导体生产用温控设备 [P]. 
陈新科 .
中国专利 :CN212906025U ,2021-04-06
[8]
一种半导体生产用温控设备 [P]. 
夏玮玮 .
中国专利 :CN111506133A ,2020-08-07
[9]
一种半导体温控设备及温控方法 [P]. 
何茂栋 ;
芮守祯 ;
曹小康 ;
常鑫 ;
冯涛 ;
宋朝阳 ;
董春辉 ;
李文博 .
中国专利 :CN112947629A ,2021-06-11
[10]
半导体温控设备 [P]. 
张伟明 ;
文志程 .
中国专利 :CN118089267A ,2024-05-28