半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710433375.0

申请日：

2017-06-09

公开(公告)号：

CN109032200A

公开(公告)日：

2018-12-18

发明(设计)人：

何茂栋芮守祯孙华敏张坤韩玉东赵力行邹昭平蒋俊海于浩

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座101、201、401、501

IPC主分类号：

G05D2319

IPC分类号：

G05D2330 G05B1905

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447

代理人：

辛自强;陈庆超

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G05D 23/19 变更事项:申请人变更前:北京京仪自动化装备技术有限公司变更后:北京京仪自动化装备技术股份有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座101、201、401、501 变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座
2019-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/19 申请日:20170609
2018-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

孙华敏 ;

张坤 ;

韩玉东 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN206833268U ,2018-01-02

[2]

用于半导体生产用温控设备的温控系统 [P].

宋朝阳 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 ;

冯涛 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

李文博 ;

耿海东 .

中国专利 :CN210776340U ,2020-06-16

[3]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032201A ,2018-12-18

[4]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN207264217U ,2018-04-20

[5]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032201B ,2024-07-16

[6]

用于半导体生产用温控设备的加热控制系统 [P].

宋朝阳 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 ;

冯涛 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

李文博 ;

耿海东 .

中国专利 :CN210776345U ,2020-06-16

[7]

一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀 [P].

蒋恒深 ;

李洪聪 ;

米金鹏 ;

刘珍 ;

高珂珂 ;

崔丹 .

中国专利 :CN209943626U ,2020-01-14

[8]

半导体生产用温控系统 [P].

宋朝阳 ;

冯涛 ;

靳李富 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN112379704B ,2021-02-19

[9]

电子膨胀阀，热交换系统以及控制电子膨胀阀的方法 [P].

P.韦尔马 ;

冯寅山 .

中国专利 :CN111765670A ,2020-10-13

[10]

电子膨胀阀控制装置 [P].

王云利 ;

李明 ;

程卓明 .

中国专利 :CN203464568U ,2014-03-05

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