用于半导体生产用温控设备的加热控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922225594.7

申请日：

2019-12-12

公开(公告)号：

CN210776345U

公开(公告)日：

2020-06-16

发明(设计)人：

宋朝阳芮守祯何茂栋曹小康冯涛常鑫董春辉李文博耿海东

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层

IPC主分类号：

G05D2320

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

谭云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05D 23/20 变更事项:专利权人变更前:北京京仪自动化装备技术有限公司变更后:北京京仪自动化装备技术股份有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
2020-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

用于半导体生产用温控设备的温控系统 [P].

宋朝阳 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 ;

冯涛 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

李文博 ;

耿海东 .

中国专利 :CN210776340U ,2020-06-16

[2]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

孙华敏 ;

张坤 ;

韩玉东 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN206833268U ,2018-01-02

[3]

半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

孙华敏 ;

张坤 ;

韩玉东 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032200A ,2018-12-18

[4]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032201A ,2018-12-18

[5]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN207264217U ,2018-04-20

[6]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032201B ,2024-07-16

[7]

半导体生产用温控系统 [P].

宋朝阳 ;

冯涛 ;

靳李富 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN112379704B ,2021-02-19

[8]

半导体设备的加热控制方法和加热控制系统 [P].

左志耀 ;

马法君 ;

金隽 .

中国专利 :CN118726954B ,2025-08-26

[9]

半导体设备的加热控制方法和加热控制系统 [P].

左志耀 ;

马法君 ;

金隽 .

中国专利 :CN118726954A ,2024-10-01

[10]

温泉用水半导体恒温控制系统 [P].

张兆新 .

中国专利 :CN203518248U ,2014-04-02

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