半导体生产用温控设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710434627.1

申请日：

2017-06-09

公开(公告)号：

CN109032201B

公开(公告)日：

2024-07-16

发明(设计)人：

何茂栋芮守祯刘紫阳张申孙华敏赵力行邹昭平蒋俊海于浩

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

IPC主分类号：

G05D23/19

IPC分类号：

G05D23/185 G05D23/30 F25B43/00 F25B41/40

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447

代理人：

辛自强;陈庆超

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032201A ,2018-12-18

[2]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

刘紫阳 ;

张申 ;

孙华敏 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN207264217U ,2018-04-20

[3]

半导体生产用温控设备 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

孙华敏 ;

张坤 ;

韩玉东 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN206833268U ,2018-01-02

[4]

半导体生产用温控系统 [P].

宋朝阳 ;

冯涛 ;

靳李富 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN112379704B ,2021-02-19

[5]

用于半导体生产用温控设备的温控系统 [P].

宋朝阳 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 ;

冯涛 ;

常鑫 ;

董春辉 ;

李文博 ;

耿海东 .

中国专利 :CN210776340U ,2020-06-16

[6]

半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

孙华敏 ;

张坤 ;

韩玉东 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN109032200A ,2018-12-18

[7]

一种半导体生产用温控设备 [P].

陈新科 .

中国专利 :CN212906025U ,2021-04-06

[8]

一种半导体生产用温控设备 [P].

夏玮玮 .

中国专利 :CN111506133A ,2020-08-07

[9]

一种半导体温控设备及温控方法 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

曹小康 ;

常鑫 ;

冯涛 ;

宋朝阳 ;

董春辉 ;

李文博 .

中国专利 :CN112947629A ,2021-06-11

[10]

半导体温控设备 [P].

张伟明 ;

文志程 .

中国专利 :CN118089267A ,2024-05-28

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