电迁移测试结构及测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510532704.8

申请日：

2015-08-26

公开(公告)号：

CN105118798A

公开(公告)日：

2015-12-02

发明(设计)人：

冷越白月

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	公开	公开
2018-05-04	授权	授权
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640130370 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015105327048 申请日:20150826

共 50 条

[1]

电迁移测试结构及测试方法 [P].

范庆言 ;

蒋昊 ;

朱月芹 .

中国专利 :CN120261449A ,2025-07-04

[2]

电迁移测试结构及测试方法 [P].

朱月芹 ;

周柯 ;

陈雷刚 .

中国专利 :CN109742066A ,2019-05-10

[3]

电迁移测试结构及电迁移测试方法 [P].

吴龙 ;

王帆 .

中国专利 :CN112864131A ,2021-05-28

[4]

电迁移测试结构及电迁移测试方法 [P].

吴龙 ;

王帆 .

中国专利 :CN112864131B ,2024-04-16

[5]

电迁移测试结构及方法 [P].

范庆言 ;

曹巍 ;

陈雷刚 .

中国专利 :CN110379725A ,2019-10-25

[6]

电迁移测试结构及测试方法 [P].

杨素慧 ;

杨盛玮 .

中国专利 :CN114899176A ,2022-08-12

[7]

电迁移测试结构及测试方法 [P].

郑雅文 .

中国专利 :CN103811467A ,2014-05-21

[8]

电迁移测试结构及其测试方法 [P].

尹彬锋 ;

周逸竹 ;

周柯 ;

高金德 .

中国专利 :CN109979918A ,2019-07-05

[9]

电迁移测试结构 [P].

甘正浩 .

中国专利 :CN102655137A ,2012-09-05

[10]

电迁移测试方法及结构 [P].

冯军宏 .

中国专利 :CN104576613A ,2015-04-29

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