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氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510053760.3
申请日：
2015-02-02
公开(公告)号：
CN104637872B
公开(公告)日：
2015-05-20
发明(设计)人：
何佳新
申请人：
申请人地址：
215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号
IPC主分类号：
H01L2177
IPC分类号：
G03F700
代理机构：
上海波拓知识产权代理有限公司 31264
代理人：
蔡光仟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-15 | 授权 | 授权 |
| 2019-12-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/77 变更事项:专利权人 变更前:昆山龙腾光电有限公司 变更后:昆山龙腾光电股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 变更后:215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 |
| 2015-06-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101613556757 IPC(主分类):H01L 21/77 专利申请号:2015100537603 申请日:20150202 |
| 2015-05-20 | 公开 | 公开 |